氯甲基甲基二甲氧基硅烷又称MMDS，是一种有机硅化合物，分子式为ClCH3Si(OCH3)2CH3。它是一种无色透明的液体，在室温下易挥发。MMDS具有很强的亲硅性，能与无机物和有机物发生反应。

MMDS在半导体工业中有广泛的应用。它可以作为化学气相沉积（CVD）的前体，用于制备硅基材料。在CVD过程中，MMDS可以在高温下分解，生成单质硅和有机气体，从而沉积在衬底表面上形成薄膜。这种方法可以制备出高质量、高纯度的硅薄膜，被广泛应用于集成电路、太阳能电池等领域。

此外，MMDS还可以作为表面处理剂，在金属、玻璃等材料表面形成有机硅涂层，提高材料的耐腐蚀性、附着力和光学性能。它也可以用于制备有机硅树脂、聚硅氧烷等高分子材料，这些材料具有优异的耐热性、耐化学性和机械性能，被广泛应用于电子、建筑、航空等领域。

总之，氯甲基甲基二甲氧基硅烷MMDS是一种重要的有机硅化合物，在半导体工业、表面处理、高分子材料等领域有着广泛的应用前景。